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合成碳化硅的热力学分析及碳化硅晶须生长的表征

李心慰 , 曲殿利 , 李志坚 , 吴锋 , 徐娜

人工晶体学报

以硅溶胶和炭黑为原料,三氧化二铁、硅铁合金为催化剂,研究分析碳化硅晶须的合成条件,催化剂种类对合成碳化硅晶须的影响.用X'pert plus软件对X射线衍射图进行拟合,通过半定量法对试样品相组成进行计算,用SEM对合成的碳化硅晶须进行微观形貌分析.结果表明:合成β-SiCw的热力学条件为:T=1823 K时,Pco>0.23×105 Pa;晶须生成量随Fe2O3、Si-Fe加入量增加而增多;Si-Fe加入量为1%时,虽然合成的晶须量少,但生成的B-SiCw直径均匀,为0.1~0.6 μm,长度适中,为1O~50 μm,直晶率达95%.

关键词: 碳化硅晶须 , 热力学 , 合成条件 , 催化剂

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